淺析干式真空泵抽速與流導的關系

淺析干式真空泵抽速與流導的關系淺析干式真空泵抽速與流導的關系

干式真空泵的抽速是指單位時間內通過泵口氣體的總量；流導是指真空系統的部件對氣體的流動的通導能力。這兩者之間的關系是怎樣的呢？我們通過計算得出結論。

不同的干式真空泵的真空系統部件的流導可以通過計算、模擬、測量等方法確定，它除了與幾何形狀有關外，還與氣體的流動狀態有關。不同部件的流導是可以進行串并聯的。

1.根據真空基本方程，可從數學上得到兩個ji端的結果，即當流導非常大時，真空室的有效抽速可以近似等于泵的抽速；

2.當干式真空泵的抽速非常大時，或者流導非常小時，真空室的有效抽速近似等于流導。

上述結果從物理上可能更易理解，從真空室抽氣口抽除的氣體必須經過流導（即管道、閥門等）才能被干式真空泵抽除，只不過被抽除的氣體從真空室抽氣口向泵口運動過程是從高壓向低壓的流動，而從泵口被抽除是從低壓向高壓的基于某種抽氣原理的強制流動。

1.如流導非常大，即通過它的氣體量不受限制，那么干式真空泵的抽氣能力就決定于自身的抽速大小，這與泵口直接與真空室相連接是一樣的。

2.如果泵的抽速非常大，這也就是相對于泵的抽速流導非常小，此時干式真空泵的實際抽氣能力并不決定于它的抽速大小而決定于氣體通過流導的能力，流導的數值恰為泵的有效抽速。

3.為了盡量發揮泵的抽氣能力，較大限度的加大流導是較為有效的方法，但往往難于實現。而一味增大泵的抽速更不切實際。所以采用晝量大的流導和選用晝量大的抽速的泵就非常值得權衡。

干式真空泵的真空效果的好壞與抽速以及流導都分不開關系，用戶對這些應加以關注，不能忽略，防止真空效果受影響。

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