氯氣中微量水分析儀利用電解水分子為氫氣與氧氣原理。此傳感器由一個玻璃材質的圓柱和兩根并行的電極組成，根據具體應用來選擇電極材質，并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4，在兩電極之間出現的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2。
此過程的zui終產物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質，因此從樣氣中吸收水分，通過連續的電解過程，樣氣的水分含量與電解后的水分是應該是平衡的。電極電流與樣氣中水分含量成比例，信號經過儀器內部信號放大器處理，然后顯示并數據讀出。此原理用來測量所有氣體。包括Cl2、HCl 、H2S、H2SO4 、HBr、SO2 、SF6 、CO2等氣體和全部惰性氣體，極少數會同磷酸發生化學反應的氣體除外。
氯氣中微量水分析儀技術規格：
| 傳感器材質 | 蒙乃爾合金 |
| 量程 | 0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-2000ppm多點切換 |
| 重復性 | ＜0.1% of FS |
| zui小檢測限 | ＜0.1ppm |
| 響應時間 | ＜1秒 |
| 樣氣流量 | 333cc/min |
| 環境溫度 | 0℃-50℃ |
| 樣品溫度 | 0℃-50℃ |
| zui大傳輸距離 | 1500ft |
| zui大壓力 | 100psig |
| 功率 | 85-264Vac，47-440Hz，50VA |
| 輸出 | SPDT連接，全部量程可調 |
| 連接方式 | 1/4"Swagelok |
