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| TOP-6097P自動影像對位曝光機(內、外層適用) |
| Semi-Automatic Imaging Alignment Exposure Machine( For inner & outer layer ) |
| 機 器 技 術 規 格 |
| Machine Technical Specifications |
| 一 | 生產規格 specification | 1 | 電路板尺寸 panel size | min:305mm*305mm,max:622mm*724mm (12"*12"~24.5"*28.5" ) |
| 2 | 電路板厚度 thickness | 0.3mm~3.2mm(12mil~128mil含銅厚contains copper) |
| 3 | 底片尺寸 a/w size | 660mm*762mm (26" ×30" ) |
| 4 | 板厚公差 thickness tol. | ±75um |
| 二 | 工作臺面 countertops | 5 | 曝光工作臺面 exposure countertops | 雙框交替作業 double tray alternate |
| 6 | 曝光方式 exposure mode | |
| 7 | 臺面結構 platform structure | 玻璃VS玻璃 glass vs glass |
| 8 | 臺面材質 platform material | 光學鋼化玻璃 真空壓力0~650kpa tempered glass, vacuum pressure-650kpa |
| 三 | 光源系統 illuminant | 9 | 光源種類 light | UVLED平行光源 UVLED collimated light |
| 10 | 燈管類型 tube | UV-LED燈組 UV-LED tube |
| 11 | 燈管數量 Qty | 1組 1group |
| 12 | 燈管功率 power | 3KW |
| 13 | 未透過玻璃照度 energy | ≥30mw/c㎡(LS125能量計) |
| 14 | 照度分布均勻性 uniformity | ≥88% |
| 15 | 平行半角 Parallel half angle | <2° |
| 16 | 傾斜角 Tilt Angle | <3° |
| 四 | 對位系統 alignment system | 17 | CCD數量 Qty of CCD | 4個 4pcs(4/3/2靶點切換選擇) 4pcs, freedom to choose between the points 4/3/2 |
| 18 | CCD移動方式 CCD way | 自動移動 Automatic |
| 19 | 對位影像檢查 automatic image alignment | 自動移動基板對位,對位銷釘孔2.5mm/3.175mm automatic alignment,Pin's dia.2.5mm/3.175mmm |
| 20 | 底片固定方式 films fixed way | 真空吸附 vacuum adsorption |
| 21 | 底片安裝方式 films installation | 自動移動對準 automatic alignment |
| 五 | 生產能力 output ablity | 22 | 生產產能(不含清潔時間) throughput(no including the cleaning time) | 2~3片/min,每日24小時約1800-2200片 2~3pcs/min,about 1800-2200pcs/24H |
| 23 | 對位機械精度 precision of alignment | ±12um |
| 24 | 光阻劑類型 resist | 內層干膜/外層干膜 inner layer dry film/outer layer dry film |
| 25 | 顯影后線路解析能力 resolution | 50um/50um |
| 六 | 控制系統 controlsystem | 26 | 操作系統 operating system | Linux窗口界面 Linux interface |
| 27 | 控制硬件 hardware | 全系統PC控制 all PC control system |
| 28 | 操控界面 interface | 15" 液晶觸控屏幕 15" touch screen |
| 29 | 操作語言 language | 中文/英文 Chinese/English |
| 30 | 溫濕度自動控制系統 Automatic temperature and humidity intelligent complement system | 溫濕度自動控制系統 Automatic temperature and humidity intelligent complement system |
| 七 | 生產及環境需求 environmental requirements | 31 | 生產上下板料方式 operation mode | 人工取放 manual |
| 32 | 生產板料放置需求 board placement requirements | 套PIN作業Cover PIN method |
| 33 | 環境潔凈度 cleanlinese | Class10000 |
| 34 | 環境溫度 temperature | 20±3℃ |
| 35 | 環境濕度 humidity | 55%±10%RH |
| 八 | 機臺外型 boundary dimention | 36 | 機臺尺寸 size | 長(L)3485mm *寬(W)1560mm *高(H)2400mm |
| 37 | 輔助后箱尺寸 auxiliary box's size | (L)1360mm* (W)650mm*(H)1500mm |
| 38 | 機臺重量 weight | 約2200公斤 about 2200kg |
| 39 | 外殻材質 material | 不繡鋼 strainless steel |
| 九 | 接口設備需求 Auxiliary equipment requirements | 40 | 電力需求 electrical | 15KVA/AC380V±5%/50HZ/25A 三相四線 (three-phase & four-wire) |
| 41 | 氣壓源需求 air source | 6.5kg/cm2 管徑 pipe diameter∮12mm 流量 flux 150~180L/min |
| 42 | 冰水需求 cooling water | 7-12℃ 管徑 pipe diameter 1" 流量 flux 15L/min |
| 43 | 排水 drainage speed | 約3L~5L/12H |
| | | | | | 因生產設計需求,規格按修改后雙方確認為凖 |
| | Due to production requirements, equipment specification according to the both sides' confirmation. |